SRS

_{ＳＲＳ -Stripper Recycling System- （剥離液再生装置）}

　液晶パネルの製造工程で使用されている剥離液を再生する装置です。
　昨今、パネル基盤の大型化とともに溶剤類の使用量も大量になっており、再利用によるコスト削減や環境対策が望まれております。SRSは、高い回収率、優れた操作性でニーズにお応えします。

剥離再生装置の原理

　液晶パネルの製造工程には、「レジスト剥離工程」と呼ばれる、剥離液を大量に使用する工程があります。ここから排出される剥離廃液には、大きく分けて３つ、不揮発分（レジスト）・低沸成分（水分等）・高沸成分が剥離液成分の不純物として含まれています。

剥離回収液を流下薄膜濃縮器（FD）にて、不揮発成分（レジスト）を分離します。
この時レジストは、固着することなく流動性のある状態で分離濃縮できます。
レジストを分離した剥離回収液は蒸留塔に流れます。
ここで低沸の不純物を分離します。
剥離液精製塔では、剥離液成分を蒸発させることで、残りの高沸物と分離します。
剥離液自体を蒸発させるので、重金属成分を剥離液成分から精密に分離除去することができます。

仕様一覧

MEA-DMSO系剥離廃液（水分10％、レジスト2％含有）の処理を基準とする。